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| 指標 | 參數(shù) |
|---|---|
| 電壓范圍 | 265VAC ～ 475VAC 三相五線制VAC |
| 頻率范圍 | 45Hz ～ 66Hz |
| 指標 | JX-HiPIMS-Pro-20 | JX-HiPIMS-Pro-40 | JX-HiPIMS-Max |
|---|---|---|---|
| 輸出脈沖電壓 |
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| 輸出脈沖峰值電流 | 0 ～ 1000A | 0 ～ 2000A | 0 ～ 2000A |
| 輸出平均/峰值功率 | 20KW/2MW | 40KW/4MW | 40KW/4MW |
| 荷靶模式 |
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| 占空比 | 0.5% ～ 40% | ||
| 輸出頻率 | 200Hz ~ 5000Hz可調 | ||
| 脈沖寬度 | 3μs ～ 100us | ||
| 電流上升時間 |
＜3μs 注：視點火電壓和負載阻抗而定 |
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| 工作模式 | 恒壓、恒流、恒功率、PT動態(tài)模式(僅Max版) | ||
| 抑弧方式 |
獨家設計微分法檢測 動態(tài)弧能量跟蹤 可編程弧參數(shù)設置 弧能量控制在＜0.2mJ/KW |
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| 電源效率 | 峰值效率≈96.3% | ||
| 指標 | 參數(shù) |
|---|---|
| THD(諧波失真) | <5%(50% ～ 100%負載) |
| 功率因數(shù) | > 99% |
| 通訊接口 | RS-485， 以太網(wǎng) |
| 通訊協(xié)議 | modbus(標配)，Profibus(選配)，EtherCAT(選配) |
| 散熱 | 風冷、水冷混合 |
| MTBF (平均無故障間隔時間) | ≥100000H |
| 電源保護 | 過壓、過流、過荷、功率器件損壞、電源過熱、負載過熱、門禁、工作連鎖 |
